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• 010 __ |a 978-7-111-64958-8 |d CNY139.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 200 1_ |a 微机电系统（MEMS) |A Wei Ji Dian Xi Tong（Mems) |b 专著 |e 元器件、电路及系统集成技术和应用 |f (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编 |g 周海宪，程云芳，周华伟等译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020

• 215 __ |a 23,383页 |c 图，照片 |d 26cm

• 225 2_ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |A Wei Na Ji Dian Xi Tong Xian Jin Ji Shu Yan Jiu Yu Ying Yong Cong Shu

• 305 __ |a 由Taylor & Francis Group LLC出版公司授权出版

• 306 __ |a 本书限中国大陆发行

• 312 __ |a 版权页英文题名：MEMS: fundamental technology and applications (devices, circuits, and systems)

• 330 __ |a 本书共19章，分为两大部分：第1-9章为突破性技术部分，讨论各类新型微机电系统（MENMS）器件；第10-19章属应用部分，阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 510 1_ |a MEMS |e fundamental technology and applications (devices, circuits, and systems) |z eng

• 517 1_ |a 元器件、电路及系统集成技术和应用 |A Yuan Qi Jian、Dian Lu Ji Xi Tong Ji Cheng Ji Shu He Ying Yong

• 606 0_ |a 微机电系统 |A Wei Ji Dian Xi Tong |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |c (美) |a 乔杜里 |A Qiao Du Li |c (Choudhary, Vikas) |4 主编

• 701 _0 |c (加) |a 印纽斯基 |A Yin Niu Si Ji |c (Iniewski, Krzysztof) |4 主编

• 702 _0 |a 周海宪 |A Zhou Hai Xian |4 译

• 702 _0 |a 程云芳 |A Cheng Yun Fang |4 译

• 702 _0 |a 周华伟 |A Zhou Hua Wei |4 译

• 801 _2 |a CN |b A330300WZL |c 20200727

• 801 _0 |a CN |b WT |c 20200727

• 905 __ |a XATU |d TH-39/183

• 920 __ |a 261060 |z 1