机读格式显示(MARC)

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 面向IC封装的气浮定位平台的研究 |A Mian Xiang Ic Feng Zhuang De Qi Fu Ding Wei Ping Tai De Yan Jiu |f 张小龙著 |g 刘波，张君安指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2015

• 215 __ |a 63页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学机电工程学院，2015

• 610 0_ |a 芯片封装；定位平台；直线电机；气体润滑；气浮驱动机构 |A Xin Pian Feng Zhuang；Ding Wei Ping Tai；Zhi Xian Dian Ji；Qi Ti Run Hua；Qi Fu Qu Dong Ji Gou

• 690 __ |a TH133 |v 5

• 701 _0 |a 张小龙 |A Zhang Xiao Long |4 著

• 702 _0 |a 刘波 |A Liu Bo |4 指导

• 702 _0 |a 张君安 |A Zhang Jun An |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180615

• 905 __ |a XATU |d TH133/13

• 920 __ |a 261060 |z 1