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• 200 1_ |a 磁过滤电弧离子镀制备氮化铝薄膜的研究 |9 ciguoludianhuliziduzhibeidanhualvbomodeyanjiu |f 周杨著 |g 严一心指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2007

• 215 __ |a 66页 |d 28cm

• 328 __ |a 硕士论文--西安工业大学光电工程学院,2007

• 610 0_ |a 磁过滤电弧离子镀 氮化铝(AIN)薄膜 光学性能 机械特性 微观结构 表面特性 |A ciguoludianhulizidu danhualv(AIN)bomo guangxuexingneng jixietexing weiguanjiegou biaomiantexing

• 690 __ |a O484 |v 4

• 701 _0 |a 周杨 |4 著 |9 zhouyang

• 702 _0 |a 严一心 |4 指导 |9 yanyixin

• 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20080903

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