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• 200 1_ |a 机械设计手册 |A ji xie she ji shou ce |e 单行本 |i 微机电系统及设计 |f 闻邦椿主编

• 205 __ |a 第6版

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020

• 215 __ |a xiii, 140页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本单行本为《微机电系统及设计》，主要介绍了微机电系统概述、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等内容。

• 517 1_ |a 微机电系统及设计 |A wei ji dian xi tong ji she ji

• 606 0_ |a 机械设计 |A ji xie she ji |x 技术手册

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 系统设计 |x 技术手册

• 690 __ |a TH122-62 |v 5

• 690 __ |a TM380.2-62 |v 5

• 701 _0 |a 闻邦椿 |A wen bang chun |4 主编

• 801 _0 |a CN |b shxhcmtsbmb10 |c 20200505

• 905 __ |a XATU |d TH122-62/49=6

• 920 __ |a 261060 |z 1

• 998 __ |a XUST