机读格式显示(MARC)

• 000 01395nam2 2200385 4500

• 000 0000105276

• 001 0000078631

• 005 20040701084227.0

• 009 002474929

• 010 __ |a 7-80144-606-2 |b 精装 |d CNY35.00

• 021 __ |a CN |b 01-2002-5505

• 100 __ |a 20040628d2003 em y0chiy0110 ea

• 101 1_ |a chi |c [eng]

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a y z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 硅微机械传感器 |9 gui wei ji xie chuan gan qi |f ( )M. Elwenspoek，( )R. Wiegerink著 |g 陶家渠等译

• 210 __ |a 北京 |c 中国宇航出版社 |d 2003

• 215 __ |a 306页 |d 21cm

• 300 __ |a 并列题名：Mechanical Microsensors

• 305 __ |a 著作权人授权出版

• 330 __ |a 本书内容包括了MEMS介绍、微机械加工工艺、膜和梁的力学、机械变形换能、力和压力传感器、加速度和角速度传感器、流体传感器、谐振传感器、接口电路，以及MEMS封装。

• 510 1_ |a Mechanical Microsensors |z eng

• 606 0_ |a 传感器 |A Chuanganqi

• 610 0_ |a 硅微机械传感器 |A Guiweijixiechuanganqi

• 690 __ |a TP212.12 |v 4

• 701 _0 |c ( ) |a 埃尔文斯波克 |9 ai er wen si bo ke |c (Elwenspoek, M.) |4 著

• 701 _0 |c ( ) |a 维格英克 |9 wei ge ying ke |c (Wiegerink, R.) |4 著

• 702 _0 |a 陶家渠 |9 tao jia qu |c (微电子) |4 译

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20040129

• 801 _2 |a CN |b 261060 |c 20040701

• 905 __ |a XATU |d TP212.12/1

• 991 __012004011668

• 995 __ |a 261060 |f TP212.12/1

• 999 __ |t E |A shan |a 20041103 08:57:19 |G unknown |g 19980101 |I zw |i 20041104 15:29:4