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• 200 10 |a 软X射线与极紫外辐射的原理和应用 |9 RuanX Shexianyujiziwaifushedeyuanliheyingyong |P RXSXYJZWFSDYLHYY |f (美)阿特伍德(Attwood, D.)著 |g 张杰译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 13,458页 |c 照片 |d 24cm

• 330 __ |a 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性，讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用，并提供大量参考资料进行辅助讲述。

• 606 0_ |a X射线 |A XShexian |x 研究

• 606 0_ |a 紫外辐射 |A Ziwaifushe |x 研究

• 606 0_ |a X射线 |A XShexian

• 606 0_ |a 紫外辐射 |A Ziwaifushe

• 690 __ |a O434 |v 4

• 701 _1 |a 阿特伍德 |9 Atewude |b D. |d Attwood |e 美 |4 著

• 702 _0 |a 张杰 |9 Zhangjie |4 译

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