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• 200 1_ |a 批间控制理论与设计方法 |A Pi Jian Kong Zhi Li Lun Yu She Ji Fang Fa |d Theory and design of run to run control |f 潘天红，王海燕，谭斐著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022

• 215 __ |a 143页 |d 24cm

• 330 __ |a 本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法，侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章，分为三大部分，第一部分针对混合制程的控制问题，阐述了批间控制理论与设计方法；第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题，给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法；第三部分结合贝叶斯理论，研究批间控制性能评估方法，并给出批间控制器协同设计策略。

• 510 1_ |a Theory and design of run to run control |z eng

• 606 0_ |a 自动控制理论 |A Zi Dong Kong Zhi Li Lun

• 690 __ |a TP13 |v 5

• 701 _0 |a 潘天红 |A Pan Tian Hong |4 著

• 701 _0 |a 王海燕 |A Wang Hai Yan |4 著

• 701 _0 |a 谭斐 |A Tan Fei |4 著

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20220812

• 801 _2 |a CN |b A330300WZL |c 20220602

• 801 _0 |a CN |b WT |c 20220602

• 905 __ |a XATU |d TP13/293

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