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- 200 1_ |a 硅单晶抛光片的加工技术 |9 gui dan jing pao guang pian de jia gong ji shu |f 张厥宗编著
- 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2005
- 330 __ |a 本书在介绍半导体硅及集成电路有关知识的同时,简单介绍半导体工业及国内、国外半导体材料硅单晶、抛光片技术的发展和动态,重点阐述了硅单晶抛光片的加工制备技术,大直径硅片的运、载,硅单晶、抛光片的测试,洁净室技术及三废处理等内容。
- 606 0_ |a 半导体材料 |A bandaoticailiao |x 硅 |x 抛光 |x 加工工艺
- 701 _0 |a 张厥宗 |9 zhang jue zong |4 编著
- 801 _0 |a CN |b 110019 |c 20051025
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