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• 010 __ |a 7-03-010565-6 |b 精装 |d CNY78.00

• 021 __ |a CN |b 01-1999-2146

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• 200 10 |a 微传感器与微执行器全书 |9 Weichuanganqiyuweizhixingqiquanshu |P WCGQYWZXQQS |f (美)科瓦奇(Kovacs, G.T.A.)著 |g 张文栋译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 29,673页 |d 24cm

• 300 __ |a 并列题名：Micromachined Transducers Sourcebook

• 306 __ |a 与美国麦格劳－希尔教育出版集团合作出版

• 330 __ |a 本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。

• 510 1_ |a Micromachined Transducers Sourcebook |z eng

• 606 0_ |a 微型 |A Weixing |x 传感器

• 606 0_ |a 微型 |A Weixing |x 执行器

• 606 0_ |a 微型 |A Weixing

• 606 0_ |a 传感器 |A Chuanganqi

• 606 0_ |a 执行器 |A Zhixingqi

• 690 __ |a TP212 |v 4

• 690 __ |a TH86 |v 4

• 701 _1 |a 科瓦奇 |9 Kewaqi |b G.T.A. |d Kovacs |e 美 |4 著

• 702 _0 |a 张文栋 |9 zhang wen dong |4 译

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20030703

• 801 _2 |a CN |b 261060 |c 20031128

• 905 __ |a XATU |d TP212/37

• 991 __012003020772

• 995 __ |a 261060 |f TP212/37

• 999 __ |t C |A shxy |a 20031120 15:16:25 |M shxy |m 20031120 15:18:28 |I zw |i 20031128 10:35:59 |G zw |g 20031128 10:36:0