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• 200 1_ |a 微机电系统基础 |A wei ji dian xi tong ji chu |d = Foundations of MEMS |f (美) Chang Liu著 |g 黄庆安译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2013

• 215 __ |a 397页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子电气经典教材系列 |A guo wai dian zi dian qi jing dian jiao cai xi lie

• 305 __ |a 本书据Pearson Education 2012年英文版第2版译出

• 306 __ |a 本书经Pearson Education授权出版

• 314 __ |a 责任者汉译名取自在版编目: 刘昶

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子电气经典教材系列

• 500 10 |a Foundations of MEMS |A Foundations Of Mems |m Chinese

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 刘昶 |A liu chang |g (Liu, Chang) |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |A huang qing an |4 译

• 801 _0 |a CN |b TL |c 20130319

• 905 __ |a XATU |d TM38/18

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• 998 __ |a BUPT