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• 200 1_ |a 基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用 |f 张玉宝, 李强主编 |9 jiyuC OMSOL MultiphysicsdeM EMSjianmojiyingyong

• 210 __ |a 北京 |c 冶金工业出版社 |d 2007

• 215 __ |a 198页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目 (第198页)

• 330 __ |a 本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以典型MEMS建模实例。

• 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji |x 计算机辅助设计 |x COMSOL Multiphysics

• 690 __ |a TM380.2-39 |v 4

• 701 _0 |a 张玉宝 |4 主编 |9 zhangyubao

• 701 _0 |a 李强 |4 主编 |9 liqiang

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