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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微细加工技术 |9 wei xi jia gong ji shu |f 刘明等编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2004

• 215 __ |a 177页 |d 26cm |c 图

• 225 2_ |a 现代加工技术丛书 |A xian dai jia gong ji shu cong shu

• 330 __ |a 本书介绍了光学曝光技术,光学分辨率增强技术,电子束光刻技术,X射线光刻技术,极端远紫外光刻技术.

• 461 _0 |1 2001 |a 现代加工技术丛书

• 606 0_ |a 特种加工 |x 技术 |A tezhongjiagong

• 690 __ |a TG66 |v 4

• 701 _0 |a 刘明 |9 liu ming |4 编著

• 701 _0 |a 谢常青 |4 编著 |9 xiechangqing

• 701 _0 |a 王舜 |4 编著 |9 wangshun

• 801 _0 |a CN |b TY |c 20050115

• 801 _2 |a CN |b 261060 |c 20050519

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