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• 200 1_ |a TFS等离子体源辅助电子束蒸发沉积系统仿真与实验 |A Tfs Deng Li Zi Ti Yuan Fu Zhu Dian Zi Shu Zheng Fa Chen Ji Xi Tong Fang Zhen Yu Shi Yan |f 郝思齐著 |g 蔡长龙教授，周立杰高工指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2020

• 215 __ |a 60页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2020

• 610 0_ |a 等离子体源；有限元素分析法；加压电压；提取电流；建模仿真 |A Deng Li Zi Ti Yuan；You Xian Yuan Su Fen Xi Fa；Jia Ya Dian Ya；Ti Qu Dian Liu；Jian Mo Fang Zhen

• 690 __ |a O53 |v 4

• 701 _0 |a 郝思齐 |A Hao Si Qi |4 著

• 702 _0 |a 蔡长龙 |A Cai Chang Long |4 指导

• 702 _0 |a 周立杰 |A Zhou Li Jie |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928

• 905 __ |a XATU |d O53/36

• 920 __ |a 261060 |z 1