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• 000 00908nam0 2200253 450

• 001 0000412168

• 005 20240328105600.0

• 010 __ |b 缴送

• 100 __ |a 20220712d2021 ekmy0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 610000

• 105 __ |a y m 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 碳化硅元件自由基等离子体加工关键工艺研究 |A Tan Hua Gui Yuan Jian Zi You Ji Deng Li Zi Ti Jia Gong Guan Jian Gong Yi Yan Jiu |f 杨梦熊著 |g 惠迎雪指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2021

• 215 __ |a 63页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2021

• 610 0_ |a SiC；自由基等离子体；超光滑表面；亚表面损伤；刻蚀特性 |A Sic；Zi You Ji Deng Li Zi Ti；Chao Guang Hua Biao Mian；Ya Biao Mian Sun Shang；Ke Shi Te Xing

• 690 __ |a TB33 |v 4

• 701 _0 |a 杨梦熊 |A Yang Meng Xiong |4 著

• 702 _0 |a 惠迎雪 |A Hui Ying Xue |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928

• 905 __ |a XATU |d TB33/140

• 920 __ |a 261060 |z 1