机读格式显示(MARC)

• 000 02164nam 2200721 450

• 001 0000273044

• 005 20180703102500.0

• 010 __ |a 978-7-111-55733-3 |b 精装 |d CNY169.00

• 021 __ |a CN |b 01-2015-5644

• 099 __ |a CAL 012017034983

• 100 __ |a 20170324d2017 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统基础 |A Wei Ji Dian Xi Tong Ji Chu |f (美) 盖德主编 |g 赵永梅, 段瑞飞, 季安译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2017

• 215 __ |a XIII, 394页 |c 图 |d 27cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛 |A Guo Ji Zhi Zao Ye Xian Jin Ji Shu Yi Cong

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 306 __ |a 由Taylor & Francis出版集团旗下CRC出版公司出版, 并经其授权翻译出版，仅限中国大陆地区销售

• 312 __ |a 英文题名取自封面

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是MEMS手册中的基础部分, 提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等内容，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。

• 410 _0 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 510 1_ |a MEMS introduction and fundamentals |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _1 |a 盖德 |A Gai De |g (Gad-el-Hak, Mohamed) |4 主编

• 702 _0 |a 赵永梅 |A Zhao Yong Mei |4 译

• 702 _0 |a 段瑞飞 |A Duan Rui Fei |4 译

• 702 _0 |a 季安 |A Ji An |4 译

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20170324

• 905 __ |a XATU |d TN4/68

• 920 __ |a 215010 |z 1

• 920 __ |a 211010 |z 2

• 920 __ |a 232020 |z 1

• 920 __ |a 232010 |z 1

• 920 __ |a 211060 |z 2

• 920 __ |a 261011 |z 1

• 920 __ |a 211030 |z 1

• 920 __ |a 221020 |z 1

• 920 __ |a 212020 |z 1

• 920 __ |a 261030 |z 1

• 920 __ |a 222010 |z 1

• 920 __ |a 231030 |z 1

• 920 __ |a 245010 |z 1

• 920 __ |a 237010 |z 1

• 920 __ |a 231020 |z 1

• 920 __ |a 244050 |z 1

• 920 __ |a 235010 |z 1

• 920 __ |a 222107 |z 1

• 920 __ |a 242010 |z 2

• 920 __ |a 221130 |z 1

• 920 __ |a 251010 |z 1

• 920 __ |a 241010 |z 1

• 920 __ |a 221010 |z 2

• 920 __ |a 244180 |z 1

• 920 __ |a 222040 |z 1

• 920 __ |a 243160 |z 1

• 920 __ |a 211070 |z 1

• 920 __ |a 237020 |z 1

• 998 __ |a NMU