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• 200 10 |a 微机电系统技术 |A Wei Ji Dian Xi Tong Ji Shu |f 石庚辰编著

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2002

• 215 __ |a 217页 |c 图 |d 20cm

• 225 2_ |a 先进制造技术丛书

• 410 _0 |1 20010 |a 先进制造技术丛书

• 510 1_ |a Micro Electro Mechanical System |z eng |A Micro Electro Mechanical System

• 606 0_ |a 机电系统,微型 |x 技术

• 690 __ |a TM38 |v 四版

• 701 _0 |a 石庚辰 |4 编著 |A Shi Geng Chen

• 801 _0 |a CN |b XITC

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