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• 010 __ |a 978-7-03-069254-2 |d CNY128.00

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• 200 1_ |a 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 |A wei na jia gong ji zai na mi cai liao yu qi jian yan jiu zhong de ying yong |b 专著 |f 顾长志等编著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2021

• 215 __ |a 11,404页 |c 图 |d 24cm

• 300 __ |a 中国科学院大学研究生教材系列

• 330 __ |a 本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。

• 606 0_ |a 纳米材料 |A Na Mi Cai Liao |x 新技术应用 |x 研究生 |j 教材

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _0 |a 顾长志 |A gu chang zhi |f (1964-) |4 编著

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20211208

• 905 __ |a XATU |d TB383/363=2

• 920 __ |a 261060 |z 1