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• 200 1_ |a 磁约束控溅射源设计 |9 ciyaoshukongjiansheyuansheji |f 袁建奇著 |g 弥谦指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2010

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• 328 __ |a 硕士论文--西安工业大学光电工程学院,2010

• 610 0_ |a 磁控溅射 磁场 磁约束 有限元 靶材利用率 |A cikongjianshe cichang ciyueshu youxianyuan bacailiyonglv

• 690 __ |a O532.11 |v 4

• 701 _0 |a 袁建奇 |4 著 |9 yuanjianqi

• 702 _0 |a 弥谦 |4 指导 |9 miqian

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