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• 200 10 |a 微机电系统及其相关技术 |A Wei Ji Dian Xi Tong Ji Qi Xiang Guan Ji Shu |f 章吉良, 杨春生编著

• 210 __ |a 上海 |c 上海交通大学出版社 |d 1999 |h 2001

• 215 __ |a 156页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 上海研究生教育用书

• 300 __ |a 上海市研究生教育专项经费资助项目

• 606 0_ |a 机电系统,微型 |x 基本知识

• 690 __ |a TN |v 四版

• 701 _0 |a 章吉良 |4 编著 |A Zhang Ji Liang

• 701 _0 |a 杨春生 |4 编著 |A Yang Chun Sheng

• 801 _0 |a CN |b XITC

• 905 __ |a XATU |d TN/16

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• 995 __ |a 261060 |f TN/16

• 999 __ |G acqcatachi |g 2001121308402