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• 200 1_ |a 等离子体放电与材料工艺原理 |A deng li zi ti fang dian yu cai liao gong yi yuan li |d = Principles of plasma discharges and materials processing |f (美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 |g 蒲以康等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2018

• 215 __ |a 28, 536页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 经典译丛 |A jing dian yi cong |i 微电子学

• 305 __ |a 据2006年英文第2版译出

• 306 __ |a 由美国John Wiley & Sons公司授权出版

• 314 __ |a 责任者Lieberman规范汉译姓: 利伯曼 ; 责任者Lichtenberg规范汉译姓: 利希滕贝格

• 314 __ |a MichaelLieberman教授分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加州大学伯克利分校电机系，从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS，AAAS，IEEE，AVS和IOP会士，并曾于1999年获得IEEEplasmascienceandapplication奖，于2005年获得vonEngel奖，于2006年获得APS的WillALLIS奖。

• 320 __ |a 有书目 (第520-531页)

• 330 __ |a 本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

• 333 __ |a 本书适用于等离子体物理领域的研究生以及从事集成电路和光电技术领域的科技研发人员

• 410 _0 |1 2001 |a 经典译丛 |i 微电子学

• 510 1_ |a Principles of plasma discharges and materials processing |z eng

• 606 0_ |a 等离子体 |A deng li zi ti |x 放电

• 690 __ |a O53 |v 5

• 690 __ |a O461 |v 5

• 701 _1 |c (美) |a 利伯曼 |A li bo man |c (Lieberman, Michael A.) |4 著

• 701 _1 |c (美) |a 利希滕贝格 |A li xi teng bei ge |c (Lichtenberg, Allan J.) |4 著

• 702 _0 |a 蒲以康 |A pu yi kang |4 译

• 801 _0 |a CN |b WHUTL |c 20180326

• 905 __ |a XATU |d O53/28

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• 998 __ |a NEU