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• 200 1_ |a 半导体衬底材料磁流变修抛控制技术研究 |A Ban Dao Ti Chen Di Cai Liao Ci Liu Bian Xiu Pao Kong Zhi Ji Shu Yan Jiu |f 刘兴龙著 |g 李宏指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2020

• 215 __ |a 70页 |d 29cm

• 328 __ |a 专业硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2020

• 610 0_ |a 环带式磁流变抛光；控制系统；PLC；半导体衬底材料；表面粗糙度 |A Huan Dai Shi Ci Liu Bian Pao Guang；Kong Zhi Xi Tong；Plc；Ban Dao Ti Chen Di Cai Liao；Biao Mian Cu Cao Du

• 690 __ |a TN304 |v 4

• 701 _0 |a 刘兴龙 |A Liu Xing Long |4 著

• 702 _0 |a 李宏 |A Li Hong |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928

• 905 __ |a XATU |d TN304/33

• 920 __ |a 261060 |z 1