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- 100 __ |a 20030506d2002 em y0chiy0121 ea
- 200 10 |a 电子束离子束技术 |f 赵玉清编著 |9 Dianzishulizishujishu |P DZSLZSJS
- 210 __ |a 西安 |c 西安交通大学出版社 |d 2002
- 225 2_ |a 新世纪本科生系列教材 |A Xinshijibenkeshengxiliejiaocai
- 330 __ |a 本书对有关电子束离子束的产生、引出、加速和偏转的工作原理,物理过程和主要部件进行了介绍(第1章,第2章,第3章和第4章),介绍了带电粒子束与固体表面相互作用的原理和产生的结果,以及电子束离子束技术在微电子领域的应用(第5章,第6章和第7章),最后介绍了最近几年发展十分迅速的、与纳米技术息息相关的扫描隧道显微镜技术(第8章)。
- 333 __ |a 读者对象:物理电子技术和光电子技术、微电子技术专业本科生、硕士生,电子束和离子束工程技术人员
- 410 _0 |1 2001 |a 新世纪本科生系列教材
- 461 _0 |1 2001 |a 新世纪本科生系列教材
- 606 0_ |a 电子束 |x 高等学校 |x 教材 |A Dianzishu
- 606 0_ |a 离子束 |x 高等学校 |x 教材 |A Lizishu
- 701 _0 |a 赵玉清 |4 编著 |9 Zhaoyuqing
- 801 _3 |a CN |b CDSY |c 20020802
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