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• 100 __ |a 20130627d2013 ekmy0chiy50 ea

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a ZnS材料的刻蚀技术研究 |A Zns Cai Liao De Ke Shi Ji Shu Yan Jiu |f 邢静著 |g 蔡长龙指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2013

• 215 __ |a 49页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2013

• 610 0_ |a 硫化锌；感应耦合等离子体刻蚀；工艺参数；刻蚀特性 |A Liu Hua Xin ；gan Ying Ou He Deng Li Zi Ti Ke Shi ；gong Yi Can Shu ；ke Shi Te Xing

• 690 __ |a TN305.7 |v 5

• 701 _0 |a 邢静 |A Xing Jing |4 著

• 702 _0 |a 蔡长龙 |A Cai Chang Long |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20130603

• 905 __ |a XATU |d TN305.7/3

• 920 __ |a 261060 |z 1