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• 200 1_ |a ZAO陶瓷靶材及薄膜的制备工艺与性能研究 |A Zao Tao Ci Ba Cai Ji Bo Mo De Zhi Bei Gong Yi Yu Xing Neng Yan Jiu |f 韩美康著 |g 杨觉明，李建平指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2013

• 215 __ |a 62页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士论文——西安工业大学材化学院，2013

• 610 0_ |a 陶瓷靶材；ZAO薄膜；射频磁控溅射；退火热处理；电阻率；透光率 |A Tao Ci Ba Cai ；zao Bo Mo ；she Pin Ci Kong Jian She ；tui Huo Re Chu Li ；dian Zu Lv ；tou Guang Lv

• 690 __ |a TB43 |v 5

• 701 _0 |a 韩美康 |A Han Mei Kang |4 著

• 702 _0 |a 杨觉明 |A Yang Jue Ming |4 指导

• 702 _0 |a 李建平 |A Li Jian Ping |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20130603

• 905 __ |a XATU |d TB43/31

• 920 __ |a 261060 |z 1