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• 200 10 |a 薄膜材料制备原理、技术及应用 |9 bo mo cai liao zhi bei yuan li、 ji shu ji ying yong |f 唐伟忠著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 冶金工业出版社 |d 2003重印

• 215 __ |a 323页 |c 图 |d 21cm

• 330 __ |a 本书共分七部分，内容包括薄膜制备的真空技术基础、薄膜的物理气相沉积、薄膜的化学气相沉积、薄膜的生长过程和结构、薄膜材料的表征方法及应用。

• 606 0_ |a 薄膜制品 |x 制备 |A Bomozhipin

• 606 0_ |a 薄膜制品 |A Bomozhipin

• 690 __ |a TQ320.72 |v 4

• 701 _0 |a 唐伟忠 |9 tang wei zhong |4 著

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