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• 200 1_ |a 动态微机电系统 |A Dong Tai Wei Ji Dian Xi Tong |b 专著 |e 理论与应用 |f 何广平[等]编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2012

• 215 __ |a 384页 |c 图及表 |d 24cm

• 304 __ |a 编著还有：赵明、赵全亮、刘峰斌

• 330 __ |a 本书以动态微机电系统（MEMS）为主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。全书共6章，主要内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 何广平 |A He Guang Ping |4 编著

• 801 _0 |a CN |b ZL |c 20120725

• 905 __ |a XATU |d TM38/5

• 920 __ |a 261060 |z 1