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- 200 10 |a 微电子制造科学原理与工程技术 |9 Weidianzizhizaokexueyuanliyugongchengjishu |e 英文版 |e 第二版 |P WDZZZKXYLYGCJS |f (美)坎贝尔(Camppbell, S.A.)著
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2003
- 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A Guowaidianziyutongxinjiaocaixilie
- 300 __ |a 并列题名:The science and Engineering of Microeletronic Fabrication
- 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列
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- 510 1_ |a The science and Engineering of Microeletronic Fabrication |z eng
- 606 0_ |a 微电子技术 |A Weidianzijishu |x 高等学校 |x 教材 |x 英文
- 701 _1 |a 坎贝尔 |9 Kanbeier |b S.A. |d Camppbell |e 美 |4 著
- 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20031202
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