机读格式显示(MARC)
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- 200 1_ |a 磁约束磁控溅射源的特性测试 |9 ciyueshucikongjiansheyuandetexingceshi |f 雷琳娜著 |g 弥谦指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2010
- 328 __ |a 硕士论文--西安工业大学光电工程学院,2010
- 610 0_ |a 磁约束 磁控溅射源 特性测试 朗缪你探针 等离子体诊断 |A ciyueshu cikongjiansheyuan texingceshi langmiunitanzhen denglizitizhenduan
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