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- 100 __ |a 20121112d2012 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a 铁电薄膜沉积技术研究 |A Tie Dian Bo Mo Chen Ji Ji Shu Yan Jiu |f 孙晓涛著 |g 刘卫国指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2012
- 328 __ |a 硕士论文——西安工业大学光电工程学院,2012
- 610 0_ |a MOCVD;液体输运技术;等离子体增强;PZT薄膜;红外热释电探测 |A Mocvd ;ye Ti Shu Yun Ji Shu ;deng Li Zi Ti Zeng Qiang ;pzt Bo Mo ;hong Wai Re Shi Dian Tan Ce
- 701 _1 |a 孙晓涛 |A Sun Xiao Tao |4 著
- 702 _0 |a 刘卫国 |A Liu Wei Guo |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20121031
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