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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 基于方箱的精密二维气浮工作台驱动系统研制 |A Ji Yu Fang Xiang De Jing Mi Er Wei Qi Fu Gong Zuo Tai Qu Dong Xi Tong Yan Zhi |f 朱思达著 |g 卢志伟副教授指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2022

• 215 __ |a 55页 |d 29cm

• 328 __ |a 专业硕士学位论文——西安工业大学机电工程学院，2022

• 610 0_ |a 气浮工作台；直线电机；驱动控制系统；稳定性；定位精度 |A Qi Fu Gong Zuo Tai；Zhi Xian Dian Ji；Qu Dong Kong Zhi Xi Tong；Wen Ding Xing；Ding Wei Jing Du

• 690 __ |a TH16 |v 4

• 701 _0 |a 朱思达 |A Zhu Si Da |4 著

• 702 _0 |a 卢志伟副教授 |A Lu Zhi Wei Fu Jiao Shou |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928

• 905 __ |a XATU |d TH16/387

• 920 __ |a 261060 |z 1