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• 200 1_ |a 微电子制造技术实验教程 |A wei dian zi zhi zao ji shu shi yan jiao cheng |f 王姝娅等编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 152页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微电子专业实验教材系列丛书 |A wei dian zi zhuan ye shi yan jiao cai xi lie cong shu

• 300 __ |a “电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材 教育部“卓越工程师教育培养计划”系列教材

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是面向微电子及相关专业的试验教程，以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和试验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础试验，详细阐述各项单步工艺的试验原理、试验设备、试验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的物理性能测试试验和电学性能测试试验。第4章介绍二极管、肖特基二极管、三极管、CMOS管、集成电阻器等器件的制造以及集成运算放大器的参数测试、逻辑IC功能和参数的测试两个综合实验。

• 410 _0 |1 2001 |a 微电子专业实验教材系列丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 实验 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4-33 |v 5

• 701 _0 |a 王姝娅 |A wang shu ya |4 编著

• 801 _0 |a CN |b zftgs |c 20150908

• 905 __ |a XATU |d TN4-33/3

• 920 __ |a 211030 |z 1

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• 998 __ |a TSU