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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 面向特征建模方式的微器件工艺方法研究 |A Mian Xiang Te Zheng Jian Mo Fang Shi De Wei Qi Jian Gong Yi Fang Fa Yan Jiu |f 迟茗文著 |g 刘铮指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2017

• 215 __ |a 70页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学机电工程学院，2017

• 610 0_ |a 表面微加工；MEMS；掩模推导；几何元素推理 |A Biao Mian Wei Jia Gong；Mems；Yan Mo Tui Dao；Ji He Yuan Su Tui Li

• 690 __ |a TP391.7 |v 5

• 701 _0 |a 迟茗文 |A Chi Ming Wen |4 著

• 702 _0 |a 刘铮 |A Liu Zheng |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180619

• 905 __ |a XATU |d TP391.7/91

• 920 __ |a 261060 |z 1