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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 声表面波MEMS器件研究 |A Sheng Biao Mian Bo Mems Qi Jian Yan Jiu |f 鲍帅著 |g 高爱华指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2012

• 215 __ |a 67页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2012

• 610 0_ |a 声表面波器件；制作工艺；声表面波MEMS陀螺；类金刚石薄膜 |A Sheng Biao Mian Bo Qi Jian ；zhi Zuo Gong Yi ；sheng Biao Mian Bo Mems Tuo Luo ；lei Jin Gang Shi Bo Mo

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _1 |a 鲍帅 |A Bao Shuai |4 著

• 702 _0 |a 高爱华 |A Gao Ai Hua |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20121031

• 905 __ |a XATU |d TN305/12

• 920 __ |a 261060 |z 1