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• 010 __ |a 978-7-5603-3864-4 |d CNY68.00

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• 102 __ |a CN |b 230000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 纳米尺度几何量和机械量测量技术 |A Na Mi Chi Du Ji He Liang He Ji Xie Liang Ce Liang Ji Shu |f 赵学增，王伟杰著

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2013

• 215 __ |a 284页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 先进制造理论研究与工程技术系列 |A Xian Jin Zhi Zao Li Lun Yan Jiu Yu Gong Cheng Ji Shu Xi Lie

• 300 __ |a 国家出版基金资助项目·“十二五”国家重点图书

• 330 __ |a 本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量，纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量，纳米尺度线高测量，纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量，纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量，微纳尺度固液界面边界条件测量，结论。

• 410 _0 |1 2001 |a 先进制造理论研究与工程技术系列

• 606 0_ |a 几何量 |A Ji He Liang |x 测量

• 690 __ |a TB9 |v 5

• 701 _0 |a 赵学增 |A Zhao Xue Zeng |4 著

• 701 _0 |a 王伟杰 |A Wang Wei Jie |4 著

• 801 _0 |a CN |b 嘉汇汉唐yz

• 905 __ |a XATU |d TB9/59

• 920 __ |a 261060 |z 1