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- 200 1_ |a 微电子机械系统 |f 姜岩峰编著 |9 weidianzijixiejitong
- 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2006
- 215 __ |a 194页 |c 图 |d 26cm
- 330 __ |a 本书介绍了微电子机械系统 (MEMS) 相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容, 对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分五个部分, 讲述了MEMS的相关力学量测量方法 ; 介绍了MEMS中的主要工艺等方面内容。
- 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 电子机械 |x 机械系统
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