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• 200 1_ |a 真空镀膜技术与应用 |A zhen kong du mo ji shu yu ying yong |d = Technology and application of vacuum coating |f 陆峰编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2022

• 215 __ |a 335页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共9章，阐述了真空镀膜技术应用，介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜，真空溅射镀膜，真空离子镀膜，离子束(辅助)沉积，化学气相沉积的原理、特点、装置及应用；还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细介绍。

• 333 __ |a 从事真空镀膜技术、薄膜与表面工程、材料工程等领域的研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员

• 510 1_ |a Technology and application of vacuum coating |z eng

• 606 0_ |a 真空技术 |A zhen kong ji shu |x 镀膜

• 690 __ |a TN305.8 |v 5

• 701 _0 |a 陆峰 |A lu feng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b WHUTL |c 20220422

• 905 __ |a XATU |d TN305.8/2

• 920 __ |a 261060 |z 1

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