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• 200 1_ |a 微米加工与纳米制造 |A Wei Mi Jia Gong Yu Na Mi Zhi Zao |f (美) 马克 J. 杰克逊主编 |g 缪旻, 张月霞, 李振松译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2016

• 215 __ |a 375页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛 |A Guo Ji Zhi Zao Ye Xian Jin Ji Shu Yi Cong

• 306 __ |a 由Taylor & Francis出版集团旗下，CRC出版公司授权出版

• 312 __ |a 英文题名取自封面

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书较为系统地梳理了微米加工（特别是非硅基加工）技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例，阐释了这些技术的原理和特点，提出了特点问题的高效率解决方案，给出了工艺设计方面的指南，并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

• 410 _0 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 510 1_ |a Microfabrication and nanomanufacturing |z eng

• 606 0_ |a 纳米技术 |A Na Mi Ji Shu

• 690 __ |a TB303 |v 5

• 701 _1 |a 杰克逊 |A Jie Ke Xun |g (Jackson, Mark J.) |4 主编

• 702 _0 |a 缪旻, |A Miao Min |f 1973- |4 译

• 702 _0 |a 张月霞, |A Zhang Yue Xia |f 1978- |4 译

• 702 _0 |a 李振松, |A Li Zhen Song |f 1982- |4 译

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20151209

• 905 __ |a XATU |d TB303/69

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