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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 光学元件表面真空等离子体处理与工艺研究 |A Guang Xue Yuan Jian Biao Mian Zhen Kong Deng Li Zi Ti Chu Li Yu Gong Yi Yan Jiu |f 姜桐著 |g 刘卫国，赵楠指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2016

• 215 __ |a 65页 |d 29cm

• 328 __ |a 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2016

• 610 0_ |a 电感耦合；电容耦合；朗缪尔探针；刻蚀速率；表面粗糙度 |A Dian Gan Ou He；Dian Rong Ou He；Lang Miao Er Tan Zhen；Ke Shi Su Lv；Biao Mian Cu Cao Du

• 690 __ |a O539 |v 5

• 701 _0 |a 姜桐 |A Jiang Tong |4 著

• 702 _0 |a 刘卫国 |A Liu Wei Guo |4 指导

• 702 _0 |a 赵楠 |A Zhao Nan |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180411

• 905 __ |a XATU |d O539/1

• 920 __ |a 261060 |z 1