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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a PECVD制备大角度减反膜 |A Pecvd Zhi Bei Da Jiao Du Jian Fan Mo |f 龚勋著 |g 杭凌侠指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2016

• 215 __ |a 69页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2016

• 610 0_ |a PECVD；大角度；宽带减反膜；低折射率 |A Pecvd；Da Jiao Du；Kuan Dai Jian Fan Mo；Di Zhe She Lv

• 690 __ |a O484 |v 5

• 701 _0 |a 龚勋 |A Gong Xun |4 著

• 702 _0 |a 杭凌侠 |A Hang Ling Xia |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180413

• 905 __ |a XATU |d O484/63

• 920 __ |a 261060 |z 1