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• 200 1_ |a 纳米集成电路制造工艺 |A na mi ji cheng dian lu zhi zao gong yi |d = Nanoscale integrated circuits —— the manufacturing process |f 张汝京等编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2014

• 215 __ |a XIII, 433页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目 (第433页)

• 330 __ |a 本书介绍纳米集成电路的制造工艺, 共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面, 很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员, 有一定的参考价值。

• 510 1_ |a Nanoscale integrated circuits —— the manufacturing process |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 集成电路工艺

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 张汝京 |A zhang ru jing |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20140807

• 905 __ |a XATU |d TN405/14

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• 998 __ |a RTBOOK