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• 200 1_ |a MEMS技术及应用 |A MEMS ji shu ji ying yong |d = Technologies and applications of MEMS |f 蒋庄德等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2018

• 215 __ |a 318页 |c 图, 肖像 |d 27cm

• 225 2_ |a 先进制造科学与技术丛书 |A xian jin zhi zao ke xue yu ji shu cong shu

• 225 2_ |a 机械工程前沿著作系列 |A ji xie gong cheng qian yan zhu zuo xi lie

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书内容包括MEMS导论、MEMS结构、MEMS材料、MEMS工艺、MEMS设计、MEMS测量、MEMS应用，以及纳机电系统(NEMS)和石墨烯，阐述了微机电系统的主流技术、典型应用和研究热点。

• 333 __ |a 高等学校教材

• 410 _0 |1 2001 |a 先进制造科学与技术丛书

• 410 _0 |1 2001 |a 机械工程前沿著作系列

• 510 1_ |a Technologies and applications of MEMS |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 蒋庄德 |A Jiang Zhuangde |4 著

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20190529

• 905 __ |a XATU |d TM38/24

• 920 __ |a 261060 |z 1

• 998 __ |a SDU