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• 200 1_ |a PECVD沉积氢化非晶硅的性能研究[硕士论文] |9 PECVDchenjiqinghuafeijingguidexingnengyanjiu[shuoshilunwen] |f 叶林著 |g 刘卫国 教授指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2006

• 215 __ |a 46页 |d 30cm

• 328 _1 |a 光学工程：西安工业大学：2006

• 610 0_ |a 等离子增强化学气相沉积 氢化非晶硅 应力 电阻温度系数 |A denglizizengqianghuaxueqixiangchenji qinghuafeijinggui yingli dianzuwenduxishu

• 690 __ |a TN304.055 |v 4版

• 701 _0 |a 叶林 |4 著 |9 yelin

• 702 _0 |a 刘卫国 教授 |4 指导 |9 liuweiguo jiaoshou

• 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20060607

• 905 __ |a XATU |d TN304.055/1

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