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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 等离子体源阴极优化方案探讨与设计 |A Deng Li Zi Ti Yuan Yin Ji You Hua Fang An Tan Tao Yu She Ji |f 李鲜娟著 |g 弥谦指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2015

• 215 __ |a 48页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2015

• 610 0_ |a 离体源；等离子体辅助镀膜；空心阴极；数值模拟 |A Li Ti Yuan；Deng Li Zi Ti Fu Zhu Du Mo；Kong Xin Yin Ji；Shu Zhi Mo Ni

• 690 __ |a TN13 |v 5

• 701 _0 |a 李鲜娟 |A Li Xian Juan |4 著

• 702 _0 |a 弥谦 |A Mi Qian |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180619

• 905 __ |a XATU |d TN13/12

• 920 __ |a 261060 |z 1