机读格式显示(MARC)
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- 100 __ |a 20180619d2014 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a PECVD技术制备1064nm高反膜 |A Pecvd Ji Shu Zhi Bei 1064nm Gao Fan Mo |f 李林军著 |g 杭凌侠,王莉红指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2014
- 328 __ |a 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院,2014
- 610 0_ |a PECVD;光学薄膜;高反膜;抗激光损伤阈值 |A Pecvd;Guang Xue Bo Mo;Gao Fan Mo;Kang Ji Guang Sun Shang Yu Zhi
- 701 _0 |a 李林军 |A Li Lin Jun |4 著
- 702 _0 |a 杭凌侠 |A Hang Ling Xia |4 指导
- 702 _0 |a 王莉红 |A Wang Li Hong |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180619
- 905 __ |a XATU |d O484/68