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- 010 __ |a 978-7-03-055333-1 |d CNY38.00
- 099 __ |a CAL 012018024314
- 100 __ |a 20180117d2017 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究 |A ji yu mai chong ji guang chen ji fu peng B-C bao mo de guan jian ji shu yan jiu |f 章嵩著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2017
- 215 __ |a 90页 |c 图 |d 24cm
- 225 2_ |a 博士后文库 |A bo shi hou wen ku
- 330 __ |a 本书旨在利用脉冲激光沉积技术,将其分别采用碳化硼陶瓷靶与硼碳拼合靶为靶材。通过对靶材成分、组成形式及沉积温度等工艺参数的调整,得到表面平整、厚度均匀及成分可控的富硼B-C薄膜,建立靶材成分、组成形式和沉积温度等工艺参数与薄膜组成、结构之间的关系,对该系列薄膜的生长机理进行分析研究。
- 333 __ |a 本书可作为薄膜材料研究专业科技人员的参考书,也可作为高等院校材料类及相关专业的本科生、研究生教学用书。
- 606 0_ |a 薄膜技术 |A bo mo ji shu |x 研究
- 606 0_ |a 富硼渣 |A fu peng zha |x 激光淀积 |x 研究
- 701 _0 |a 章嵩 |A zhang song |4 著
- 801 _0 |a CN |b 北京新华书店首都发行所有限公司 |c 20180117
- 905 __ |a XATU |d TB43/53