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- 000 01704nam0 2200577 450
- 010 __ |a 978-7-5024-6917-7 |d CNY25.00
- 099 __ |a CAL 012015094784
- 100 __ |a 20150731d2015 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例 |A yang hua xin he dan hua lu^ bo mo zhi bei yu biao zheng shi li |f 赵祥敏, 赵文海著
- 210 __ |a 北京 |c 冶金工业出版社 |d 2015
- 215 __ |a X, 132页 |c 图 |d 21cm
- 330 __ |a 本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段等内容。
- 606 0_ |a 氧化锌 |A yang hua xin |x 薄膜技术
- 606 0_ |a 氮化铝 |A dan hua lu^ |x 薄膜技术
- 701 _0 |a 赵祥敏, |A zhao xiang min |f 1979- |4 著
- 701 _0 |a 赵文海 |A zhao wen hai |4 著
- 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20150731
- 905 __ |a XATU |d TB43/51