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- 100 __ |a 20180412d2016 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a 氧化铪薄膜制备工艺及其性能研究 |A Yang Hua Ha Bo Mo Zhi Bei Gong Yi Ji Qi Xing Neng Yan Jiu |f 王钊著 |g 惠迎雪,贺爱锋指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2016
- 328 __ |a 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院,2016
- 610 0_ |a 氧化铪;薄膜;磁控溅射;退火处理;离子束处理;结构;性能 |A Yang Hua Ha;Bo Mo;Ci Kong Jian She;Tui Huo Chu Li;Li Zi Shu Chu Li;Jie Gou;Xing Neng
- 701 _0 |a 王钊 |A Wang Zhao |4 著
- 702 _0 |a 惠迎雪 |A Hui Ying Xue |4 指导
- 702 _0 |a 贺爱锋 |A He Ai Feng |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180412