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• 200 1_ |a 类金刚石薄膜应力调控及其激光损伤特性 |A Lei Jin Gang Shi Bo Mo Ying Li Tiao Kong Ji Qi Ji Guang Sun Shang Te Xing |f 王娜著 |g 吴慎将指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2019

• 215 __ |a 84页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2019

• 610 0_ |a 类金刚石薄膜；射频磁控溅射；工艺参数；表面形貌；应力；激光损伤 |A Lei Jin Gang Shi Bo Mo；She Pin Ci Kong Jian She；Gong Yi Can Shu；Biao Mian Xing Mao；Ying Li；Ji Guang Sun Shang

• 690 __ |a O484 |v 5

• 701 _0 |a 王娜 |A Wang Na |4 著

• 702 _0 |a 吴慎将 |A Wu Shen Jiang |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20190906

• 905 __ |a XATU |d O484/80

• 920 __ |a 261060 |z 1