机读格式显示(MARC)

• 000 01421nam2 2200349 4500

• 000 0000078573

• 001 0000063708

• 005 20030605105739.0

• 010 __ |a 7-81077-183-3 |d CNY16.00

• 092 __ |a CN |b 02-624-246

• 100 __ |a 20030603d2003 em y0chiy0121 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a y z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 10 |a 微机械电子系统及其应用 |9 Weijixiedianzijitongjiqiyingyong |P WJXDZJTJQYY |f 刘广玉, 樊尚春, 周浩敏编著

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 192页 |d 24cm

• 300 __ |a 高等学校通用教材

• 330 __ |a 本书综合了当前公开发表的大量有关微机电系统(MEMS)的科技文献和作者近几年研究工作的成果。主要介绍当今微机电系统的核心内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器、微机械弱信号检测与处理6部分。全书内容丰富，图文恰当，新颖实用。

• 333 __ |a 读者对象：高校有关专业研究生和高年级大学生，检测与控制等徽工程领域的工程技术人员

• 606 0_ |a 微型 |x 机电系统 |A Weixing

• 690 __ |a TP271.2 |v 4

• 701 _0 |4 编著 |a 刘广玉 |9 Liuguangyu

• 701 _0 |a 樊尚春 |4 编著 |9 Fanshangchun

• 701 _0 |a 周浩敏 |4 编著 |9 Zhouhaomin

• 801 _3 |a CN |b CDSY |c 20021124

• 801 _2 |a CN |b 261060 |c 20030605

• 905 __ |a XATU |d TP271.2/1

• 991 __012003008631

• 995 __ |a 261060 |f TP271.2/1

• 999 __ |t C |A cxj |a 20030603 09:08:47 |M cxj |m 20030603 09:11:19 |I zw |i 20030605 10:57:39 |G zw |g 20030605 10:57:4