机读格式显示(MARC)

• 000 00883nam2 2200289 4500

• 000 0000217110

• 001 0000145980

• 005 20091123142959.0

• 010 __ |b 缴送

• 100 __ |a 20091123d2009 km y0chiy0121 eb

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 610000

• 105 __ |a y m 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 清洗刻蚀源及其应用 |9 qingxikeshiyuanjiqiyingyong |f 王稳奇著 |g 朱昌指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2009

• 215 __ |a 55页 |d 28cm

• 328 __ |a 硕士论文——西安工业大学光电学院，2009

• 610 0_ |a 离子源 电磁场 工作特性 离子能量 均匀性 刻蚀速率 |A liziyuan diancichang gongzuotexing lizinengliang junyunxing keshisulv

• 690 __ |a O484.4 |v 4

• 701 _0 |a 王稳奇 |4 著 |9 wangwenqi

• 702 _0 |a 朱昌 |4 指导 |9 zhuchang

• 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20091123

• 905 __ |a XATU |d O484.4/14

• 991 __012009002404

• 995 __ |a 261060 |f O484.4/14

• 999 __ |t A |A zw |a 20091123 14:29:5